TSI 9001 AeroTrak洁净室冷凝粒子计数器

极低的假计数率提供精确的10纳米测量在低粒子浓度，自信地监测微型环境和工艺气体保持制造的产品免受纳米粒子污染。

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描述

产品详细信息

AeroTrak®洁净室冷凝颗粒计数器(CPC)型号9001是市场上唯一的水基、层流、高流速仪器，提供监测关键环境所需的信心。该仪器采用专利技术，在0.1 CFM (2.83 L/min)流速下提供10 nm的灵敏度。具有超低的误计数率，该AeroTrak 9001洁净室CPC非常适合在ISO Class 1和Class 2环境中发现的低粒子浓度。

特性

  • 10 nm的敏感性
  • 0.1 CFM (2.83 l/min)样品流量
  • 低误计数率(< 0.07次/英尺3）提供精确的测量在低粒子浓度
  • 快速响应
  • 使用超纯或去离子水作为工作液，防止酒精或其他化学品进入洁净室
  • 数据存储:250个分区，999个位置，10000个样本

应用程序

  • 追踪纳米级颗粒污染源(10 nm < 100 nm)
  • 过程改进
  • 监控清洁区域
  • 查找过滤器泄漏
  • 进行室内空气质素调查

规格表

应用笔记

视频

使用TSI AeroTrak 9001洁净室CPC制造半导体的纳米粒子检测

AeroTrak 9001洁净室冷凝粒子计数器

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