描述
特征
- 将高达120 psi（8.27巴）的气体压力降低到近大气压
- 用于监控和测试ISO 8573-1和SEMI E49.8限制
- 兼容0.1 CFM AeroTrak粒子计数器（遥控器型号）和AeroTrak洁净室冷凝粒子计数器模型9001
- 排气HEPA过滤器在断开压缩气体源时保护HPD附件免受污染
- 无需手动调整或校准
- 适用于干净的干燥空气（CDA），氮气（n2）和氩气（AR）
- 钝化的不锈钢外壳抵抗洁净室化学品
- 0.1 CFM（2.83LPM）标称流速
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