描述
特征
- 将高达120 psi（8.27巴）的气体压力降低到近大气压
- 用于监控和测试ISO 8573-1和SEMI E49.8限制
- 兼容1.0 CFM AeroTrak粒子计数器（遥控器和便携式型号）
- 排气HEPA过滤器在断开压缩气体源时保护HPD附件免受污染
- 包括用于低湿度压缩气体系统的流血注入
- 无需手动调整或校准
- 适用于干净的干燥空气（CDA），氮气（n2）和氩气（AR）
- 钝化的不锈钢外壳抵抗洁净室化学品
- 1.0 CFM（28.3 LPM）标称流量
TSI 7955 AeroTrak高压扩散器
用于使用Aerotrak 9110便携式粒子计数器的半导体制造，以实现高压压缩气体系统中的颗粒污染。